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T700型多路質(zhì)量流量校準(zhǔn)儀

主要性能特點(diǎn)流量測(cè)量精度：全量程的±1%；流量控制再現(xiàn)性：全量程的±0.2%；流量測(cè)量的線性：全量程的±0.5%；稀釋氣的流量范圍： 0-10 SLPM, 可選：0-20 SLPM,0-5 SLPM。臭氧發(fā)生器模塊 最大輸出：6 ppm L/min最小輸出：100 ppb L/min紫外光度計(jì)（選項(xiàng)） 滿量程范圍：100 ppb – 10ppm，用戶可調(diào) 精度：1.0 ppb

  • 型號(hào)： T700
  • 品牌：

主要性能特點(diǎn)

  • 流量測(cè)量精度：全量程的±1%；

  • 流量控制再現(xiàn)性：全量程的±0.2%；

  • 流量測(cè)量的線性：全量程的±0.5%；

  • 稀釋氣的流量范圍： 0-10 SLPM, 可選：0-20 SLPM,0-5 SLPM。

  • 臭氧發(fā)生器模塊

    最大輸出：6 ppm L/min最小輸出：100 ppb L/min

  • 紫外光度計(jì)（選項(xiàng)）

    滿量程范圍：100 ppb – 10ppm，用戶可調(diào)

    精度：1.0 ppb